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- 南方電網(wǎng)申請基于SOI的壓力傳感器專利，能夠提高壓力傳感器的測量精確度
- 來源：金融界 發(fā)表于 2024/11/27
金融界2024年11月27日消息，國家知識產(chǎn)權局信息顯示，中國南方電網(wǎng)有限責任公司申請一項名為“基于SOI的壓力傳感器”的專利，公開號 CN 119023124 A，申請日期為2024年10月。
專利摘要顯示，本申請涉及一種基于SOI的壓力傳感器，涉及微電子技術領域。包括依次層疊設置的密封襯底、下電極結構、絕緣結構和上電極結構；密封襯底和下電極結構之間設置有空腔，下電極結構與空腔接觸的表面設置有壓力敏感膜；絕緣結構的尺寸小于下電極結構的尺寸且大于上電極結構的尺寸上電極結構的位置與壓力敏感膜的位置相對應；還包括：補償結構；其中，補償結構與上電極結構處于同一水平面，且設置在絕緣結構遠離下電極結構的表面，補償結構的位置與下電極結構直接與密封襯底接觸的表面位置相對應。本申請能夠提高壓力傳感器的測量精確度。
本文源自：金融界
作者：情報員
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